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光纖單軸干涉儀

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光纖單軸干涉儀(Fiber CCR Interferometer分為光纖單軸角錐干涉儀光纖單軸平鏡干涉儀兩大類。

光纖單軸角錐干涉儀的被測對象為角錐反射鏡,主要用于測量一維運動臺的線性位移,它有90°兩種出光方式。

光纖單軸平鏡干涉儀的被測對象為平面反射鏡,主要用于測量二維運動臺的線性位移,它有90°兩種出光方式。

光纖單軸平鏡干涉儀與光纖單軸角錐干涉儀的機械接口完全相同,并兼容雷尼紹RLD10-0、RLD10-90接口。




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