“上海拍頻光電科技有限公司榮獲該獎項”發表時間:2023-07-04 09:21 2023年5月20日“世界計量日”,“中國計量測試學會科學技術進步獎”在武漢舉行了頒獎活動。上海拍頻光電科技有限公司的項目-“懸臂光波導光柵亞納米位移測量技術及應用”,榮獲“2022年度中國計量測試學會科學技術進步獎”二等獎。 上海拍頻光電科技有限公司長期致力于激光外差干涉技術研究及其國產化產品開發,包括雙頻激光干涉儀、光纖干涉儀和超精密光柵測量系統等系列產品,最高測量分辨率可達0.077nm,測量范圍20米,測量穩定性優于1nm@5min,支持多軸同步。 此次“懸臂光波導光柵亞納米位移測量技術及應用”項目,基于激光外差干涉原理,突破了雙頻光源、高效保偏光纖傳輸、高倍電子細分、弱信號探測等關鍵技術,研發了懸臂光波導光柵亞納米位移測量新產品,已經在半導體裝備、生物工程、高端制造等領域實現了產業化應用。
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