上海拍頻光電科技有限公司

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——專注于雙頻激光干涉技術研究及其產品開發

雙頻激光干涉儀本身的噪聲評價與實測案例

發表時間:2022-05-26 20:29作者:上海拍頻光電科技有限公司

由《雙頻激光干涉儀系統誤差概述》的描述可知,雙頻激光干涉儀的系統誤差大致由三部分組成:儀器誤差、幾何誤差(或稱之為安裝誤差)以及環境誤差。這三種誤差中,幾何誤差主要和光路調試和光程大小有關系,一般在幾十納米到幾百納米量級;環境誤差與測試的環境參數(溫度、壓力、濕度等)和量程幾乎成正比,通??蛇_幾十納米到幾微米量級;而儀器誤差則主要是指雙頻激光干涉儀自身的誤差,一般可通過靜態噪聲來進行評價。上海拍頻光電科技有限公司的雙頻激光干涉儀的儀器誤差可控制在2nm以下(3Sigma)。

下圖是上海拍頻光電科技有限公司的四軸干涉儀五軸干涉儀在客戶現場的測試結果。測試條件如下:

1)四軸干涉儀和五軸干涉儀安裝在VC-E減振器上;

2)光路上溫度波動控制在0.01℃以下;

3)采用1024細分的VME軸卡,系統分辨率為0.15nm;

4)采樣頻率2KHz,持續采樣5分鐘,利用matlab計算其3sigma值。



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