一、簡介
傳統雙頻激光干涉儀(Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series,TDI)采用傳統的空間光傳輸,最高分辨率可達0.077nm,它具有優越的測量性能以及實時閉環反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域。
上海拍頻光電科技有限公司自主開發的傳統雙頻激光干涉儀系統,主要特點如下:
?支持位移、速度、角度測量
?采用平鏡干涉儀測量,達到4倍光學細分
?具有高數據采樣率,支持位移和速度的實時閉環反饋
?采用雙頻干涉技術,抗干擾能力強,易進行多軸擴展,測量結果噪聲低
?單塊數字信號處理器支持完全相互獨立的6軸同時測量,并支持多處理器級聯
二、系統構成
傳統雙頻激光干涉儀的主要架構如下圖所示。
傳統雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調底座、導光元件、導光元件可調底座、光學干涉儀、光纖耦合器、光纖、信號處理卡等部件組成。
三、性能參數
上海拍頻光電科技有限公司研發的傳統雙頻激光干涉儀,主要系統參數如下表:
指標名稱
| 參數 |
測量分辨率(Resolution) | 0.077nm @ 4 optical division |
測量范圍(Range) | 20m |
采樣速率(Sampling rate) | 10MHz |
通訊接口(Interface) | VME / ABZ / RS485 /BISS/ 網口 |
備注:可定制VPX通訊接口,可定制更高測量分辨率。
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